克日从中国修筑质料迷信钻研总院（如下简称建材总院）患上悉，国首基于光刻用石英玻璃基板（如下简称石英玻璃基板）绿色制作技术，条石套破建材总院石英院在衢州建树了国内首条从基板原质料制作到产物加工的英玻成套破费线，该破费线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板，璃基突破了石英玻璃基板原质料及产物临时依赖进口的板成时事。
该破费线的费线建树，是建成建材总院担当的“十二五”国家科技反对于妄想“高功能石英玻璃、微晶玻璃等特种质料关键技术研发及树模”课题的行业下场之一。
石英玻璃基板是资讯集成电路芯片制作工艺中的中间器件，市场需要量重大。国首作为石英玻璃基板的条石套破原质料，分解石英玻璃具备热晃动性好、英玻光学平均性高、璃基耐辐照等诸多短处。板成可是费线，受原质料纯度、平均性及加工精度、硬脆特色等限度，我国石英玻璃基板临时依赖进口。
作为我国有履历处置石英玻璃钻研的科研院所，建材总院石英院科研职员经不懈自动，组成一套适宜我国行业现状与睁开趋向的独占工艺道路，不光处置了石英玻璃基板原质料的纯度、平均性难题，同时实现为了原质料绿色制作；引入多刀切割、清静快捷磨抛工艺，缔造性地开拓了熔拉制坯、数控倒角等技术，处置了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原质料制作到产物加工，该院组成专利20余项，行业尺度、国军标及国家尺度10余项，开拓出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产物，不光逐渐替换进口，而且进口欧洲、日本等国。
(责任编辑：综合)
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